臺階儀

簡要描述：臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

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更新日期：2025-02-12
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測量/計量儀器

測振儀圓度儀/圓柱度儀粗糙度儀臺階儀輪廓儀

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臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

臺階儀參數

項目簡述	參數說明
1.共焦	可快速垂直掃描的旋轉共焦技術。使用高數值孔徑 (0.95) 以及高倍數的 (150倍) 全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72° vs 44°) 。具有光學形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機，空間下樣可調至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置。在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制應用于透明層/薄膜。兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。高穩定性。
2.干涉儀（WLI）	Z向高分辨率兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨立放大四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍光和紅光) 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機快速處理器自動對焦
3.原子力顯微鏡	探針掃描可用于大型模板 X、Y、Z三向可達原子級分辨率大壓電探針掃描XY: 達到 110x110um
4.變焦	粗糙表面分析快速分析一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀高精度原子力顯微鏡

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